CM-151陶瓷超滤膜系统助力半导体铸造厂减少氢氟酸废水量，实现回用并增强可持续发展性

CM-151陶瓷超滤膜系统助力半导体铸造厂减少氢氟酸废水量，实现回用并增强可持续发展性

半导体晶圆厂和铸造厂正面临着越来越严苛的环保审查，尤其是随着对芯片设计创新的需求日益增加。这会给现有的淡水供应带来压力，并可能危及正常运营，尤其是在行业需要迅速扩张以满足不断增长的需求的现状下。

北美一家领先的铸造厂的污水处理正面临因颗粒物带来的问题。该工厂使用澄清药剂和斜板沉淀池对这股废水进行处理，因处理效能有限，出水质量不稳定。为了应对这一挑战，工厂试行并随后实施了一项新的处理方案，即使用纳诺斯通CM-151陶瓷超滤膜和反渗透膜系统，对现有废水处理过程中含氢氟酸的废水进行处理并回用。

新方案的精简设计包括碱投加（NaOH）以中和废水酸性，然后通过CM-151陶瓷超滤膜系统的处理去除固体悬浮物和SDI。由于CM-151系统通量高，设计紧凑，能够适应该铸造厂的空间限制。 在下游RO工艺中，进一步去除溶解性固体，产水质量优异，可接入超纯水（UPW）处理系统的前端。该处理工艺的改变将氟化物去除步骤转移到RO工艺上，从而避免了昂贵化学品（CaCO₃）的添加。

该创新系统已被验证是高度可靠的，仅需要最少的清洗和最低程度的人工监管。 其回收率可达95%，且并未因持续接触中和废水而出现退化迹象。关键操作参数见右上表格。

含氟废水回用解决方案的实施帮助该厂实现了每年超过 800，000 美元的总节约，包括450,000美元的水处理系统运营费用节省，180,000美元的淡水购置和处理费用节省，以及因减少废水排放量带来的180,000美元的排放费用的节省。